根据工艺需求，选用耐腐蚀NPP或者PTFE材料。

适用于4英寸方片和最大到160毫米圆片。

本机台具有喷淋、清洗、甩干、手动涂胶功能

使用数控伺服电机，可以设定正传/反转，满足工艺功能。

客户可以自由设定工艺时间、转速和加速度。

标配转速为：1—10000RPM。

可存储99个客户自定程序。

每个程序可以自编99步。

转速精确度为：+/- 0.1RPM。

旋转加速度为： 7500RPM/SEC。

提供与客户晶片尺寸相适应的机械或真空夹具

有机台盖子自动互锁保护。

提供PVD透明内腔保护衬，在涂胶工艺时保持机台内壁洁净