产品系列

超纯在线精控温度冷却/加热器

超纯在线精控温度冷却/加热器

当需要精确控制循环的液体温度时,对于一个放热反应的工艺过程,一个好的方法是对工艺液体先进行制冷,然后再使用加热器加热,达到精确控制温度的目的。这个装置是冷却和加热一体机,提供高纯洁净精确控温的手段。本产品特为满足对温度苛刻要求的工位使用,体积小巧,使用特氟龙或者客户需要的材料制作。在IC生产中广泛用于HF等关键工位。

1.有过温保护传感器和控制器。

2.有液位传感器和控制器。

3.有工艺温度传感器和高温限制传感器。


当需要精确控制循环的液体温度时,对于一个放热反应的工艺过程,一个好的方法是对工艺液体先进行制冷,然后再使用加热器加热,达到精确控制温度的目的。这个装置是冷却和加热一体机,提供高纯洁净精确控温的手段。本产品特为满足对温度苛刻要求的工位使用,体积小巧,使用特氟龙或者客户需要的材料制作。在IC生产中广泛用于HF等关键工位。

1.有过温保护传感器和控制器。

2.有液位传感器和控制器。

3.有工艺温度传感器和高温限制传感器。


当需要精确控制循环的液体温度时,对于一个放热反应的工艺过程,一个好的方法是对工艺液体先进行制冷,然后再使用加热器加热,达到精确控制温度的目的。这个装置是冷却和加热一体机,提供高纯洁净精确控温的手段。本产品特为满足对温度苛刻要求的工位使用,体积小巧,使用特氟龙或者客户需要的材料制作。在IC生产中广泛用于HF等关键工位。

1.有过温保护传感器和控制器。

2.有液位传感器和控制器。

3.有工艺温度传感器和高温限制传感器。


当需要精确控制循环的液体温度时,对于一个放热反应的工艺过程,一个好的方法是对工艺液体先进行制冷,然后再使用加热器加热,达到精确控制温度的目的。这个装置是冷却和加热一体机,提供高纯洁净精确控温的手段。本产品特为满足对温度苛刻要求的工位使用,体积小巧,使用特氟龙或者客户需要的材料制作。在IC生产中广泛用于HF等关键工位。

1.有过温保护传感器和控制器。

2.有液位传感器和控制器。

3.有工艺温度传感器和高温限制传感器。


KW =LPM*(T2-T1) / 3.79