· 超纯设计
o 与液体接触的部分是 PVDF/PFA材料
· 提高温度稳定性
o 通过PLC和Power-To-Flow Control™温度精确控制技术,提供稳定、精确的温度输出
· 便于操作的触摸屏界面
o 高分辨率触摸屏及图形界面
o 便于导航
· 符合行业安全准则
o 满足并超过UL-499、SEMI S2、SEMI S3、CE的严格要求
· 即插即用系统与完全集成的控制部分
· 安全集成到设计中
o 额定短路电流为100 kA Amps
o 接地故障断路器,额定电压小于30 mAmp
o 多个安全PLC监控 GFCI, 热熔断器, 高温监控热电偶
o NIST-Certified 热电偶
o 输入和输出都有双压力安全阀,确保压力迅速消散
· 以太网连接读/写
o 允许加热器的数据迅速转移到 Fab SECS/GEM System
· 不需要用N2清洗
产品特点
· 加热器:具有Heatefle技术的加热单元
· 与液体接触的部分是PVDF/PFA材料
· 功率:40 KW to 225 KW
· 电压: 200 VAC to 480 VAC, 3-ph
· 最高温度: 95º C (203º F)
· 温控精度: +/- 1º C(厂务在入口提供温度、流量稳定的DIW前提下)
· 流量: 0.5 GPM (1.9 LPM) to 32 GPM (122 LPM)
· 压力: 60 PSIG @ 95ºC
· 效能: >99 %
· MTBF: 10.29 年
安全保护
· 液位传感器
· 热熔断
· 接地故障断路器
· 压力安全阀
· 流量传感器
· 多个安全PLC
通信
· 以太网 (读/写)
· 也有其他通信方式可选
Aquarius | kW | Standard Models | w/ Recirculation Option |
Low VAC | High VAC | Low VAC | High VAC |
DI-40 | 40 | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D |
DI-80 | 80 | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D |
DI-100 | 100 | 78″H x 39″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 39″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D |
DI-120 | 120 | 78″H x 39″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 39″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D |
DI-160 | 160 | N/A | 78″H x 39″W x 24″D | N/A | 78″H x 39″W x 24″D |
DI-200 | 200 | N/A | 78″H x 39″W x 24″D | N/A | 78″H x 39″W x 24″D |
DI-225 | 225 | N/A | 78″H x 39″W x 24″D | N/A | 78″H x 39″W x 24″D |
*Low VAC: 200-240 VAC, 3-Phase · High VAC: 380-480 VAC, 3-Phase |
https://www.heateflex.com/products/deionized-water-heater/
01 | Auto Purge |
02 | Resistivity Sensor |
3B | Ethernet Cable -50 ft (replaces standare 25-ft cable) |
4A | Water leaks Alarm Option(User had choice to set alarm as critical or no-critical, signal only) |
4B | Water leaks option(Isolation vlave input only, AOV, critical alarm only , not available on 32mm or 40mm units) |
4C | Water leaks option (Isolation Valves input and output, AOV, Critical Alarm only,not available on 32mm or 40mm units) |
5A | Discrete Communications option with 25-ft cable |
5B | Discrete Communications option with 50-ft cable |
6A | Analog Communications option with 25-ft |
6B | Analog Communications option with 50-ft |
7A | Dry Contact communication option with 25-ft cable |
7B | Dry Contact communication option with 50-ft cable |
08 | Dry signal for secondary process set point ( No panel mount , no interface cable) |
09 | Recirculation Option |
10 | Power supply from bottom of Unit |
11 | Lock out Tag-out Circuit Breaker box on back of unit |
12 | Incoming power conduit size increase by 1 |
13 | Manifold for Multiple Units |
14 | Embedded Ground Wire (1 per heating coil) |
15 | 3/4” Flare Drain |
16 | Manual Valve at In/Out |
17 | 3/4” Pillar Super 300 Vent Relief and Any Internal Tubing (soft) Will Have Pillar Fittings |
18 | Top Mounted Fan & Vent |
Power-To-Flow™ 控制
Heateflex的Power-To-Flow Control™是一种创新的控制系统,旨在为在线加热提供精确的温度输出的应用程序。
Power-To-Flow 控制系统消除了不必要的温度波动. 先进的 Aquarius® 温度控制系统具有多回路能力和前馈功能,以补偿加热过程中流量的变化. 它测量流体进入加热器时的流速,测量加热过程中不同阶段的温度,然后根据这些测量结果,调整每个加热区域的功率比例。这种先进的综合控制方法对流量的任何变化反应迅速,在稳定的温度下提供DI Water的稳定流动。
优势:
· 优良的温度稳定性
· 对温度和流量变化的快速反应
· 消除温度的波动