产品系列

HEATEFLEX  DI water加热系统

HEATEFLEX DI water加热系统

Aquarius ®超纯去离子水(DIW)加热系统,与液体接触的表面全部是超纯PVDF/PFA材料,确保整个加热过程的超纯条件

通过PLC和Power-To-Flow Control™专利温度精确控制技术,提供稳定、精确的温度输出

功率范围从40KW到225KW。


·       超纯设计

o  与液体接触的部分是 PVDF/PFA材料

·      提高温度稳定性

o  通过PLC和Power-To-Flow Control™专利温度精确控制技术提供稳定、精确的温度输出

·        便于操作的触摸屏界面

高分辨率触摸屏及图形界面

o  便于导航

         ·      符合行业安全准则

 满足并超过UL-499SEMI S2SEMI S3CE的严格要求

·       即插即用系统与完全集成的控制部分

·       安全集成到设计中

o  额定短路电流为100 kA Amps

 接地故障断路器,额定电压小于30 mAmp

o   多个安全PLC监控 GFCI, 热熔断器, 高温监控热电偶

o   NIST-Certified 热电偶

o   输入和输出都有双压力安全阀,确保压力迅速消散

·     以太网连接读/写

o   允许加热器的数据迅速转移到 Fab SECS/GEM System

·     不需要用N2清洗

 


产品特点

·  加热器:具有专利Heateflex®加热单元

·  与液体接触的部分是PVDF/PFA材料

·   功率:40 KW to 225 KW

·   电压: 200 VAC to 480 VAC, 3-ph

·   最高温度: 95º C (203º F)

·   温控精度: +/- 1º C(厂务在入口提供温度、流量稳定的DIW前提下)

·   流量: 0.5 GPM (1.9 LPM) to 32 GPM (122 LPM)

·   压力: 60 PSIG @ 95ºC

·   效能: >99 %

·   MTBF: 10.29

安全保护

·   液位传感器

·   热熔断

·   接地故障断路器

·   压力安全阀

·   流量传感器

·   多个安全PLC

通信

·   以太网 (读/写)

·  也有其他通信方式可选

 


AquariuskWStandard Modelsw/ Recirculation Option
Low VACHigh VACLow VACHigh VAC
DI-404078″H x 32″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D
DI-808078″H x 32″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D
DI-10010078″H x 39″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D78″H x 39″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D
DI-12012078″H x 39″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D78″H x 39″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D
DI-160160N/A78″H x 39″W x 24″DN/A78″H x 39″W x 24″D
DI-200200N/A78″H x 39″W x 24″DN/A78″H x 39″W x 24″D
DI-225225N/A78″H x 39″W x 24″DN/A78″H x 39″W x 24″D
*Low VAC: 200-240 VAC, 3-Phase · High VAC: 380-480 VAC, 3-Phase


https://www.heateflex.com/products/deionized-water-heater/

01

Auto Purge

02

Resistivity   Sensor

3B

Ethernet Cable   -50 ft (replaces standare 25-ft cable)

4A

Water leaks   Alarm Option(User had choice to set alarm as critical or no-critical, signal   only)

4B

Water leaks   option(Isolation vlave input only, AOV, critical alarm only , not available   on 32mm or 40mm units)

  4C

Water leaks   option (Isolation Valves input and output, AOV, Critical Alarm only,not   available on 32mm or 40mm units)

5A

Discrete   Communications option with 25-ft cable

5B

Discrete   Communications option with 50-ft cable

6A

Analog   Communications option with 25-ft

6B

Analog   Communications option with 50-ft

7A

Dry Contact   communication option with 25-ft cable

7B

Dry Contact   communication option with 50-ft cable

08

Dry signal for   secondary process set point ( No panel mount , no interface cable)

09

Recirculation   Option

10

Power supply   from bottom of Unit

11

Lock out   Tag-out Circuit Breaker box on back of unit

12

Incoming power   conduit size increase by 1

13

Manifold for   Multiple Units

14

Embedded   Ground Wire (1 per heating coil)

15

3/4” Flare   Drain

16

Manual Valve   at In/Out

17

3/4” Pillar   Super 300 Vent Relief and Any Internal Tubing (soft) Will Have Pillar   Fittings

18

Top Mounted   Fan & Vent


Power-To-Flow™ 控制

Heateflex具有专利的Power-To-Flow Control™是一种创新的控制系统,旨在为在线加热提供精确的温度输出的应用程序。

Power-To-Flow 控制系统消除了不必要的温度波动. 先进的 Aquarius® 温度控制系统具有多回路能力和前馈功能,以补偿加热过程中流量的变化. 它测量流体进入加热器时的流速,测量加热过程中不同阶段的温度,然后根据这些测量结果,调整每个加热区域的功率比例。这种先进的综合控制方法对流量的任何变化反应迅速,在稳定的温度下提供DI Water的稳定流动。


优势

·        优良的温度稳定性

·        对温度和流量变化的快速反应

·        消除温度的波动